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Doppelflächen-Läpppoliermaschine

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YH2M8432F
YH2M8432F Vertikale doppelseitige Poliermaschine

YH2M8432F Vertikale doppelseitige Poliermaschine


Diese Maschine wird hauptsächlich zum beidseitigen Schleifen und Polieren von Dünnblechteilen aus Halbleitermaterialien wie z. B.s Silizium, Germanium und Quarzkristall sowie nichtmetallische harte und spröde Materialien wie optisches Glas und Keramik.

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Technische Charaktere
Haupteigenschaften

1. Die Ablage, die untere Platte und die Hohlwelle der Maschine werden durch hochfeste, hochpräzise Lager und feste Hülsen gestützt, was einen extrem hohen Rundlauf der Ablage gewährleistet. Die feste Hülse und die Hohlwelle nutzen Innen- und Außenbohrungsschleifen.

2. Anheben des Zahnkranzes: Ein neu entwickelter externer Anhebemechanismus für den Zahnkranz bietet höhere Genauigkeit und Konsistenz beim Anheben und verhindert ein Festklemmen. Dies erhöht auch die Bewegungspräzision des Planetengetriebes und erleichtert den Polierpadwechsel.

3. Planetengetriebe: Ein neu entwickelter Stifteingriffsmechanismus ermöglicht das schnelle Entfernen und Ersetzen einzelner Stifte bei Verschleiß des Innenzahnrads oder Sonnenrads. Dadurch entfällt der Austausch des gesamten Innenzahnrads oder Sonnenrads. Dies reduziert die Kosten und erhöht den Wartungskomfort.
4. Um das anschließende automatisierte Be- und Entladen durch Industrieroboter zu ermöglichen, werden das Sonnenrad und die Antriebskomponenten der unteren Platte der Maschine durch Servomotoren gesteuert. Diese Komponenten, in Verbindung mit dem Zylinder in der Positionierungsvorrichtung des Außenzahnrads, positionieren die konischen Passstifte des Außenzahnrads durch vertikale Bewegung präzise und erreichen nach der Drehung eine sekundäre, präzise Positionierung. Dies ermöglicht letztendlich einen reibungslosen Betrieb, wenn der Industrieroboter das Planetenrad holt und das Werkstück be- und entlädt.

5. Das Flüssigkeitsversorgungssystem der Maschine: ① Unabhängige Flüssigkeitsversorgungspumpen und Rührpumpen sorgen dafür, dass die Polierflüssigkeit vollständig suspendiert und frei von Ablagerungen ist. Alle Flüssigkeitsversorgungsrohre und -armaturen bestehen aus Edelstahl, die Rohre bestehen aus flexiblen Stahlschläuchen. Die Durchflussrinne ist mit einem geschlossenen Ende ausgestattet, wobei bis zu 40 Auslassrohre mit dem Auslassanschluss der oberen Platte verbunden sind, um eine gleichmäßige und hochdurchflussfähige Polierflüssigkeit zu gewährleisten. ② Das Flüssigkeitsversorgungssystem (Vorratsbehälter für Polierflüssigkeit) verfügt über eine Kühlfunktion. Benutzer können bei Bedarf optional Kühlwasser anschließen (Innendurchmesser der Rohröffnung: Φ12). Die Kühlwassertemperatur beträgt ≤15 °C und der Druck 2 kg/cm².


Leistung

Artikel

Modell

Polierplattengröße

Φ1070xΦ495x45mm

Drehzahl oberer Mahlteller

2-25r / min

Geringere Schleiftellerdrehzahl

2-50r / min

Sonnenraddrehzahl

2-22r / min

Hub der oberen Platte

450 mm

Hub des Hohlrads

30 mm

Maximaler Bearbeitungsdruck

350 kg

Rundlauftoleranz der Stirnfläche der unteren Platte

0.12 mm

Rundlauftoleranz des Hohlrads

0.25 mm

Rundlauftoleranz der Stirnfläche des Hohlrads

0.25 mm

Rundlauftoleranz Sonnenrad

0.15 mm

Sonnenrad-Stirnflächen-Rundungstoleranz

0.15 mm

Energieversorgung

Dreiphasiger Fünfleiter AC380V

Gesamtleistung der Ausrüstung

15kW

Abmessungen der Haupteinheit (L x B x H)

Ungefähr 1800×1500×2900mm

Gesamtgewicht der Maschine

Ungefähr 3500 kg


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